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用超声喷雾热分解法制备p型Zn1-xMgxO薄膜
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国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金，国家重点基础研究发展规划(973计划)，天津市自然科学基金，科技部国际合作重点项目，南开大学博士启动基金，新世纪优秀人才计划?


Fabrication of P type Zn1-xMgxO thin film by ultrasonic spray pyrolysis
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    利用超声喷雾热分解(USP)技术,采用N-Al共掺法,在eagle2000衬底上制备出了电学特性较好的p型Zn0.93Mg0.07O薄膜:电阻率为18.43 Ω·cm、迁移率是0.362 cm2/(V·s)、载流子浓度为1.24×1018 cm-3.系统分析了前驱溶液中Al掺杂量或Mg掺杂量变化时对p型Zn1-x MgxO薄膜电学特性和结构特性的影响.紫外可见光透射测试表明:Zn1-xMgxO薄膜在紫外-可见光范围内的透过率达到了80%.

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引用本文

边楠,张晓丹,张霞,赵颖,杨瑞霞.用超声喷雾热分解法制备p型Zn1-xMgxO薄膜[J].光电子激光,2009,(2):

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