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PET柔性衬底上低温沉积ITO薄膜性能的研究
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国家重点基础研究发展规划(973计划)，天津市科技发展规划资助项目，天津市国家科技计划配套资助项目?


Properties of ITO films deposited on PET substrate at low temperature
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    采用反应热蒸发的方法,在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料衬底上制备In2O3:Sn(ITO)薄膜.鉴于塑料对温度的敏感性,详细研究了衬底温度对其上沉积的ITO薄膜的微观结构及光电性能的影响,在低温条件下(Ts=140℃)获得电阻率为7.52×10-4Ωcm,可见光范围内的透过率大于80%和结构特性良好的薄膜,并将其应用于PIN型太阳电池的前电极,获得了转换效率为4.41%的柔性非晶硅(a-Si)薄膜太阳电池.

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引用本文

曹丽冉,陈新亮,薛俊明,倪牮,赵鹏,张德坤,孙建,赵颖,耿新华. PET柔性衬底上低温沉积ITO薄膜性能的研究[J].光电子激光,2009,(5):

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