单室沉积本征微晶硅薄膜及其在电池中的应用
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国家高技术研究发展计划(863计划),国家重点基础研究发展规划(973计划),国家自然科学基金,科技部国际合作重点项目,教育部新世纪人才计划的资助项目,南开大学博士启动基金?


Single-chamber deposition of intrinsic microcrystalline silicon thin film and its application in solar cells
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    为获得单室沉积高效微晶硅(μc-Si)太阳电池,首先采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了不同沉积条件下的本征μc-Si薄膜.通过对材料的结构和电学输运特性的研究,借鉴分室沉积的器件质量级μc-Si材料的经验,选取合适的本征层和P种子层处理B污染的技术,在单室中制备出光电转换效率为6.23%(1 cm2)的单结μc-Si电池.

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引用本文

王光红,张晓丹,孙福河,许盛之,岳强,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍,赵颖.单室沉积本征微晶硅薄膜及其在电池中的应用[J].光电子激光,2009,(5):

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