摘要:用熔体外延法(ME)生长出厚度达到100μm的InAsSb外延层,截止波长进入8~12μm波段。测量结果表明,InAsSb材料具有良好的单晶取向和结晶质量,位错密度达到104cm-2量级。室温下,霍尔测量得到的载流子浓度为1~3×1016cm-3,电子迁移率大于5×104cm2/Vs。用此材料制得了2~9μm波段的高灵敏度In-AsSb室温红外探测器。该探测器为浸没型光导元件,安装了镀有SiO或ZnS增透膜的单晶Si光学透镜。在黑体温度为500K、黑体调制频率为800 Hz和外加偏置电流为10 mA的测试条件下,测得293K下该探测器的最高黑体响应度达到168V/W,黑体探测率为2~6×108cm·Hz1/2·W-1,峰值探测率大于1×109cm·Hz1/2·W-1。