室温InAsSb长波红外探测器的研制
DOI:
CSTR:
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

TN215

基金项目:

国家自然科学基金资助项目(60777022)


Fabrication of room-temperature InAsSb infrared detector with long-wavelength
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    用熔体外延法(ME)生长出厚度达到100μm的InAsSb外延层,截止波长进入8~12μm波段。测量结果表明,InAsSb材料具有良好的单晶取向和结晶质量,位错密度达到104cm-2量级。室温下,霍尔测量得到的载流子浓度为1~3×1016cm-3,电子迁移率大于5×104cm2/Vs。用此材料制得了2~9μm波段的高灵敏度In-AsSb室温红外探测器。该探测器为浸没型光导元件,安装了镀有SiO或ZnS增透膜的单晶Si光学透镜。在黑体温度为500K、黑体调制频率为800 Hz和外加偏置电流为10 mA的测试条件下,测得293K下该探测器的最高黑体响应度达到168V/W,黑体探测率为2~6×108cm·Hz1/2·W-1,峰值探测率大于1×109cm·Hz1/2·W-1。

    Abstract:

    InAsSb epilayers with the thickness of 100 μm are grown by the melt epitaxy(ME).The cutoff wavelengths of the materials enter the 8-12 μm range.The measurement results demonstrate that InAsSb epilayers have good single crystal orientation and crystalline quality,and the dislocation densities reach the order of 104 cm-2.Van der Pauw measurements show that the room temperature electron mobilities of InAsSb epilayers are higher than 5×104 cm2/Vs with carrier densities of 1~3×1016 cm-3.High-sensitiv...

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

高玉竹.室温InAsSb长波红外探测器的研制[J].光电子激光,2010,(12):

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期:
文章二维码