亚波长结构纳米孔的近场光学测试
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O439

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苏州市科技发展资助项目(ZXG0712)


Near-field optical test of the nanohole with subwavelength structure
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    利用微纳加工工艺制作了亚波长结构纳米孔,应用近场光学显微镜(NFOM)对样品进行了近场光学性质的测试,获得了样品的近场光强分布,测得其近场光斑直径约为120 nm,测试结果证明了环形周期性结构对中心纳米孔的增透和聚焦作用,为环形亚波长结构的纳米孔应用奠定了基础。

    Abstract:

    Near-field optical microscope is an important tool for the near-field optical test of micro-nano structure optical device.The scanning near-field optical probe is applied to test the near-field optical properties of nanohole.The near field intensity distribution of the nanohole is obtained and the near-field spot diameter is measured as about 120 nm.Test results show that the annular structure plays a positive role in focusing energy and enhancing transmission.This research may be the foundation for the pra...

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李海军.亚波长结构纳米孔的近场光学测试[J].光电子激光,2010,(7):

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