Si基薄膜太阳电池绒面ZGO透明导电膜的研究
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TM914.4

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国家高技术研究发展计划资助项目(2006AA05Z422); 天津市科技攻关计划资助项目(06YFGPGX08000); 天津市应用基础及前沿技术研究计划资助项目(08JCYBJC13100)


Application of textured ZGO films on amorphous silicon based solar cells
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    摘要:

    采用孪生对靶直流磁控溅射的方法在室温下制备高质量的Ga掺杂ZnO(ZGO)透明导电薄膜,用HCl腐蚀的方法获得满足光散射特性的绒面ZGO薄膜。制备的ZGO样品为具有六角纤锌矿结构的多晶膜,具有(002)方向的择优取向。腐蚀后,绒面ZGO薄膜的晶粒度减小,电阻率基本不变。在可见光范围内,绒面ZGO的反射率比平面ZGO的反射率下降了10%左右。将绒面ZGO薄膜应用于p-i-n型非晶Si薄膜太阳电池中,有效提高了太阳电池性能,使得电池的短路电流提高到17.79 mA/cm2,电池的转换效率增加到7.23%。

    Abstract:

    Ga-doped ZnO(ZGO) films are deposited by using DC magnetron sputtering with facing zinc oxide targets at room temperature in argon atmosphere.The crystal structure of the ZGO films is hexagonal wurtzite,and the orientation is along the c-axis perpendicular to the substrate.Textured ZGO films are prepared by etching the smooth films in 0.5% diluted HCl.The reflectivity of textured film in the visible range is decreased by 10% comparing with that of the smooth ZGO film,while the conductivity remains constant....

    参考文献
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    引证文献
引用本文

隋妍萍. Si基薄膜太阳电池绒面ZGO透明导电膜的研究[J].光电子激光,2010,(7):

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