RF-PECVD法研究碳纳米管的生长特性
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TB383.1

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国家自然基金资助项目(60806030); 天津市自然基金资助项目(08JCZDJC22700,08JCYBJC14600); 天津市教委重点项目(ZD200709)


Study on growth characteristics of carbon nanotubes by RF-PECVD
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    摘要:

    采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD),以Fe作为催化剂,在Si基片上生长了碳纳米管(CNT),采用扫描电子显微镜(SEM)、高分辨透射电子显微镜(HR TEM)以及显微Raman光谱等对制备的CNT的形貌及结构进行了表征。结果表明:700℃和800℃温度下生长的CNT均取向无序、弯曲缠结,由整齐排列的圆筒状石墨片构成,层间距约为0.34 nm,属于结晶性多壁CNT;在700℃基片温度下生长的CNT均匀细长,管径约为15~20 nm,长度约2μm;800℃基片温度下生长的CNT纯度较高。

    Abstract:

    Using Fe as a catalyst,carbon nanotubes(CNTs) were synthesized on silicon by radio-frequency plasma enhanced chemical vapor deposition(RF-PECVD).The morphology and microstructure of CNTs were characterized by scanning electron microscope(SEM),transmission electron microscopy(TEM) and Raman spectroscope,respectively.The results show that the orientation of carbon nanotubes synthesized under 700 ℃ and 800 ℃ is disordered and bending tangled.The neatly arranged cylindrical-shaped graphite sheets co...

    参考文献
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    引证文献
引用本文

李玮玮. RF-PECVD法研究碳纳米管的生长特性[J].光电子激光,2011,(1):79~81

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