压电换能器长度位移测量的一种新方法
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TN958.98

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国家“863”计划资助项目(2006AA12Z144)


A novel method for length displacement measurement of piezoelectric transducer
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    针对合成孔径激光雷达光源调腔用压电换能器(PZT)长度位移进行高精度测量的需要,提出一种基于干涉图像灰度最佳估计的双光束干涉测量方法。通过合理设计算法,理论上测量分辨率能够达到光源激光器波长的1/1 024;实验上对一管型PZT的长度位移进行了测量,精度达到10 nm量级。

    Abstract:

    The piezoelectric transducer(PZT)is a key component for variable-cavitylength laser in synthetic aperture laser radar systems.So it is necessary to measure the displacement of PZT with a high accuracy.A novel method using double-beam interferometry based on the best estimation of pattern gray scale was proposed.Through designing the estimation algorithm in the method,it was theoretically possible to get the measuring accuracy order to 1/1 024 of the laser wavelength.The experimental results from a PZT pipe ...

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引用本文

来志.压电换能器长度位移测量的一种新方法[J].光电子激光,2011,(2):166~169

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