基于电子散斑干涉技术快速评价半导体器件可靠性
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TN303

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广西科学技术厅资助项目(桂科基0731017)


Rapid evaluation for the reliability of semiconductor devices based on electronic speckle pattern interference technology
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    提出了一种基于电子散斑干涉(ESPI)技术的快速评价半导体器件可靠性的新方法。通过给试件施加序进的加速温度应力,采用ESPI技术测量其封装离面位移随温度变化的规律预测其工作寿命。对简单半导体器件样品进行了实验,得到了散斑条纹图随试件温度的变化规律,根据变化规律快速提取出了试件的激活能,推算出了试件常温条件下的工作寿命。实验结果与相关资料数据吻合,验证了本文方法的可行性。

    Abstract:

    Due to the increasing complexity of the packing materials,processes and functions,it′s difficult to quickly and accurately evaluate the reliability of semiconductor devices.To solve this problem,a new method based on electronic speckle pattern interference(ESPI) technology is introduced in this paper.This method predicts the specimen life time according to the change of out-of-plane displacement from field of semiconductor devices packing under the accelerated temperature stress.The law of speck...

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    引证文献
引用本文

袁纵横.基于电子散斑干涉技术快速评价半导体器件可靠性[J].光电子激光,2011,(3):352~354

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