室温核辐射CdZnTe像素探测器的研制
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TL814

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国家自然科学基金资助项目(50902113,50902114,50772091)


Fabrication of room-temperature nuclear-radiation CdZnTe pixel array detectors
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    摘要:

    采用布里奇曼法生长的CdZnTe(CZT)单晶,制成室温核辐射像素探测器。首先通过红外透过显微(IRTM)成像、电阻率测量以及单元探测器能谱响应测试等手段,综合评定了探测器用CZT晶体的质量,结果表明,晶片富Te相密度为28.43 mm-2且尺寸分布较均匀,电阻率为1010Ω.cm;电子迁移率寿命积为1.07×10-3cm2/V,晶片质量完全达到像素探测器的制作要求。采用光刻及双层胶剥离技术在CZT晶片表面制备出4×4像素Au电极,制备出金属-半导体-金属(MSM)结构像素阵列探测器,并研究了像素探测器的H2O2溶液湿法钝化和低能氧离子轰击干法钝化工艺,钝化后16个像素在100 V偏压下的漏电流为0.79~1.2 nA。室温下测试像素探测器对未经准直的241Am@59.5 keVγ射线的能谱响应,结合Shockley-Ramo理论,分析了不同像素能谱响应的影响规律。 更多还原

    Abstract:

    The material selection,testing and fabrication technology development of high-performance pixelated CdZnTe(CZT) radiation detectors are reported.The size of the wafer is 10 mm×10 mm×2 mm.The specifications of the anode are 4×4 pixels with a 0.6 mm distance between adjacent pixels.The crystals were evaluated by using infrared microscopy and by being fabricated into planar detectors.The selected crystal has a high resistivity(1010 Ω·cm),high electron transport product(μτe≈1.07±0.02×10-3cm2/V) as w...

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引用本文

郭榕榕,介万奇,查钢强,王涛,徐亚东,郭庆真.室温核辐射CdZnTe像素探测器的研制[J].光电子激光,2011,(5):660~665

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