PET柔性衬底上生长绒面ZnO-TCO薄膜及其在薄膜太阳电池中的应用
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TM914.42

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国家重点基础研究发展计划资助项目(2011CB201605,2011CB201606&2011CB201607);天津市应用基础及前沿技术研究计划资助项目(09JCYBJC06900);中央高校基本科研业务费专项资金项目(65010341)


Surface textured ZnO-TCO thin films grown on PET flexible substrates and the applications in thin-film solar cells
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    摘要:

    利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)技术在PET柔性衬底上低温生长绒面结构ZnO-TCO薄膜,DEZn和H2O作为源材料,B2H6作为掺杂剂。详细研究了薄膜掺杂流量对ZnO薄膜微观结构以及光电性能影响。优化获得的PET/ZnO:B薄膜厚约为1500 nm时,绒面结构PET/ZnO薄膜的方块电阻约为10Ω,可见光及近红外范围平均透过率达80%。初步应用于a-Si薄膜电池,电池结构为PET/ZnO-TCO/pin-a-Si/Al,电池的转换效率可达6.3%。 更多还原

    Abstract:

    The low-pressure metal organic chemical vaper deposition(LP-MOCVD) technique is used to grow textured ZnO-TCO thin films on PET substrates at low temperature.The effects of the B-doping on the microstructure,electrical and optical properties of the ZnO thin films are investivated.Typical PET/ZnO:B films are with thickness of 1 500 nm,sheet resistanceof Rs~10Ω,and average transmittance in the visible and near infrared region of Ta~80%.The textured ZnO-TCO thin films are used in a-Si thin film sol...

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引用本文

林泉,陈新亮,倪牮,张德坤,孙建,赵颖,耿新华. PET柔性衬底上生长绒面ZnO-TCO薄膜及其在薄膜太阳电池中的应用[J].光电子激光,2011,(5):714~717

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