具有表面二阶金属光栅的927nm分布反馈半导体激光器的研制
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TN248.4

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国家自然科学基金重点资助项目(90923037);国家自然科学基金资助项目(61006054)


A 927nm distributed feedback laser with surface second-order metal grating
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    摘要:

    采用全息光刻和湿法腐蚀光栅技术,成功制备了表面二阶金属光栅宽条型分布反馈(DFB)半导体激光器,无需二次外延生长过程,实现了宽接触室温直流下大范围稳定单纵模工作。腔面未镀膜器件,在脉冲工作条件下,注入电流为2.28A时,单面输出功率大于600mW,斜率效率达0.37mW/mA,功率效率大于11%。在连续电流注入下,当注入电流为1.6A时,单面输出功率大于200mW,光谱线宽小于0.8nm,波长随电流的调谐系数最小为0.43nm/A;注入电流为1.0A时,水平远场发散角为2.1°。

    Abstract:

    This paper reports a broad-area distributed feedback(DFB) laser with surface second-order metal grating,based on the holographic photolithography and wet etching technology without epitaxial regrowth process after the grating fabrication.At room temperature,for the uncoated device with a cavity length of 1 mm,the stable longitudinal single-mode emission around 927 nm has been achieved in a large current range.In pulsed operation,at a current of 2.28 A,the front facet output power is above 600 mW...

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引用本文

仕均秀,秦莉,叶淑娟,张楠,刘云,宁永强,佟存柱,曾玉刚,王立军.具有表面二阶金属光栅的927nm分布反馈半导体激光器的研制[J].光电子激光,2011,(10):1488~1491

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