摘要:为解决超精密光学仪器要求兼顾超低固有频率和超低振动速度的问题,提出了一种基于复合摆-倒摆串联的超低频气浮隔振方法。利用单摆和倒摆的水平刚度作用相反、相互抵消的特性,将二者串联,研制了能够与气浮隔振系统组合使用的复合摆-倒摆串联水平隔振装置,并对其进行了建模、仿真和实验分析。实验结果表明:采用本文提出的隔振方法,气浮隔振系统的水平固有频率由2Hz降至1Hz;在同等条件下,本方法节省约36%的安装高度;水平短轴方向的速度1/3倍频程谱幅值低于1.53μm/s,达到IEST通用评价标准的VC-F隔振等级,水平长轴方向的速度1/3倍频程谱幅值低于2.17μm/s,优于VC-E隔振等级。