基于复合摆倒摆串联的光学仪器气浮隔振方法研究
DOI:
CSTR:
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

TH74

基金项目:


An air flotation vibration isolation method based on compond pendulum inverted pendulum-series for optical instruments
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    为解决超精密光学仪器要求兼顾超低固有频率和超低振动速度的问题,提出了一种基于复合摆-倒摆串联的超低频气浮隔振方法。利用单摆和倒摆的水平刚度作用相反、相互抵消的特性,将二者串联,研制了能够与气浮隔振系统组合使用的复合摆-倒摆串联水平隔振装置,并对其进行了建模、仿真和实验分析。实验结果表明:采用本文提出的隔振方法,气浮隔振系统的水平固有频率由2Hz降至1Hz;在同等条件下,本方法节省约36%的安装高度;水平短轴方向的速度1/3倍频程谱幅值低于1.53μm/s,达到IEST通用评价标准的VC-F隔振等级,水平长轴方向的速度1/3倍频程谱幅值低于2.17μm/s,优于VC-E隔振等级。

    Abstract:

    In order to solve the problem of ultra-precision optical instruments demanding both low natural frequency and low vibration speed,this paper proposes an ultra-low frequency air flotation vibration isolation method based on complex pendulum and inverted pendulum series.Based on the feature that the horizontal stiffnesses of simple pendulum and inverted pendulum can offset each other,we placed simple pendulum and inverted pendulum in series,and developed a complex pendulum and inverted pendulum se...

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

夏超,谭久彬.基于复合摆倒摆串联的光学仪器气浮隔振方法研究[J].光电子激光,2011,(10):1551~1556

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期:
文章二维码