基于液态膜的集成电路电光检测技术
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TN407

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国家自然科学基金资助项目(61077002);清华信息科学与技术国家实验室(筹)资助项目


Electro-optic probing of integrated circuit based on liquid film
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    摘要:

    利用液态膜作为电场探测的电光材料。液态膜的探测电压灵敏度比GaAs材料高2个数量级。其原理是,基于液态极性分子的取向极化,液态膜的折射率受电场调制,从而实现电光测量。实验结果表明,在调制电场1kHz频率下测量液态膜电光系数达到95pm/V。利用液态膜对集成电路进行检测具有简单、高效的特点,很好地完成了低频场探测中弱信号的电压测量和波形显示。

    Abstract:

    In this letter,the liquid film is used for optical probing of electric field,whose voltage sensitivity is 2 orders of magnitude higher than the GaAs in the same system.The electro-optic coefficient is measured to be 95 pm/V at 1 kHz based on the mechanism of orientation polarization.It is a simple and high-efficiency method to probe integrated circuits with the liquid film,which facilitates measuring the voltage and waveform of weak signal under low frequency.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

赵迪,金如龙,姚佳,于颜豪,衣茂斌,杨罕.基于液态膜的集成电路电光检测技术[J].光电子激光,2011,(11):1688~1690

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