飞秒激光用超宽带金属介质膜光栅的优化设计和工艺容差分析
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TN249

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国家自然科学基金项目(10804060,10904080);山东省泰山学者建设工程专项经费资助项目


Optimization and tolerance of ultra-broadband metal multi-layer dielectric gratings for femtosecond lasers
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    基于严格耦合波理论,提出了金属介质膜光栅(MMDG)的带宽评价函数和波长偏离评价函数,并对宽光谱MMDG结构参数进行优化。数值模拟分析表明,当MMDG的槽深为290nm、剩余厚度为10nm、占空比取0.28和入射角为60°时,对以1053nm为中心波长的TE波,其-1级衍射效率优于97%的带宽达到190nm。对结构参数分析表明,设计的宽光谱MMDG工艺容差比较大,满足光栅的制备要求。

    Abstract:

    Based on the rigorous coupled-wave theory,the merit functions for the diffraction bandwidth and variance from center wavelength are proposed to analyze the diffraction property of broadband metal multi-layer dielectric grating(MMDG).When the groove depth,residual thickness,duty cycle and incident angle are 290 nm,10 nm,0.28 and 60° respectively,the optimized MMDG exhibits an ultra-broadband top-hat diffraction spectrum with average efficiency exceeding 97% over the 190 nm wavelength range centered at 1 053 nm with TE mode.Numerical simulation shows that the optimized MMDG has excellent fabrication tolerance.The optimized broadband MMDG should be useful for chirped pulse compression.

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引用本文

孔伟金,王书浩,云茂金,孙欣,魏世杰,张文飞,郑併斌,姜丽娜.飞秒激光用超宽带金属介质膜光栅的优化设计和工艺容差分析[J].光电子激光,2011,(12):1769~1773

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