TN248.4
河北省高等学校科学技术研究青年基金(2011110)资助项目
在普通大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)基础上,制备出了底部出光纳米孔径VCSEL。利用聚焦离子束刻蚀技术完成纳米孔径的制作。当小孔直径为480nm×480nm时,测量得到器件的远场输出光功率为0.07mW。并分析了温度的变化对该器件远场输出光功率的影响。
高建霞,王岭娥.底部出光纳米孔径面发射激光器的研究[J].光电子激光,2012,(12):2283~2286