NOA73材料的曲面微透镜阵列的制作
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唐军(1981-),男,博士,副教授, 研究方向包括低维纳米结构制备与应用、新型微米纳米器件和微纳测试技术等.

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国家重点基础研究发展“973”计划(2012CB723401)资助项目 (中北大学 电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051)


Fabrication of NOA73curved microlens arrays
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    摘要:

    为了实现生物复眼的光学性能,介绍了一种仿 生物 复眼结构通过使用光刻胶熔融法和NOA73(norland optical adhesive)紫外曝光固化技术。 首先采用光刻胶熔融法将一 系列具有不同曲率、宽度的平面微凸透镜制作在Si基底上,且微透镜阵列具有统一的聚焦特 性和光滑度;通过比 较NOA73、PDMS两种平面微透镜阵列的 聚焦效果,得到NOA73材料具有更好的光学性能;然后利用 PDMS的柔韧特性和NOA73紫外曝光固化的特性制作出曲面微凸透镜阵 列;最后对曲面微透镜阵列进行 成像测试、光强分布测试,结果表明,通过上述工艺制作的曲面微凸透镜阵列, 最后对曲面微透镜阵列进行成像测试、光强分布测试,可知通知 这种工艺制作的曲面微透镜阵列的尺寸达到微米,光学性能优秀,透光率基本达到 100%,具有很好的重复性,可行性且制作简单、快速和低成本,并能模仿复眼 结构的部分光学特性。

    Abstract:

    In order to achieve biological compound eyes′ optical properties,t his paper presents a method for fabricating curved microlens arrays to imitate b iological compound eyes structure by using conventional photoresist melting method and norland optical adhesive 73(NOA73) UV curing technology.First,a series of plane convex microlenses with different curvatures and widths are fabricated on a silicon substrate through the photoresist melting method,which have the uniform focusing characteristics and smoothness.Through comparing the focusing effects between two plane microlens ar rays with NOA73and polydimethylsiloxane (PDMS).it is concluded that NOA73has b etter optical properties.Then using the PDMS flexible characteristics and NOA73UV cu ring properties,the curved microlens array are made.Finally making imaging tests and intensity distribution tests,the results show that the curved microlens arr ays′ size reaches micron level through this method,with the light transmission rate reaches 100%,with good optical performance,good repeatability,feasibility,a nd its fabrication is simple,fast,low cost,and capable of imitating part of opt ical properties of biological compound eyes structure.

    参考文献
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    引证文献
引用本文

李向红,刘俊,张斌珍,唐军. NOA73材料的曲面微透镜阵列的制作[J].光电子激光,2013,(2):292~296

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  • 收稿日期:2012-08-21
  • 最后修改日期:2012-09-22
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