摘要:通过脉冲激光沉积(PLD)在石英玻璃基底上沉积了 四元Zn0.86Cd0.11In0.03O(ZCIO)合金半导体薄膜 。其中,Cd的掺杂是 用以改变ZnO的光学禁带宽度,In是用以提高载流子浓度。X射线衍射(XRD)分析证实,ZCIO 具有六方纤锌 矿结构而没有其它相(如CdO和In2O3相)出现。场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)观察到Z CIO薄膜的晶粒尺 寸要比未掺杂ZnO的小。所有薄膜在可见光范围内都有很高的透过率(≈85%)。最重要 的是,在保持了Zn1-xCdxO 薄膜的光学特性外,ZCIO薄膜的电学性能得到了改善 ,低的电阻率(4.42×10-3 Ω·cm)和高的载流子浓度(5.50×1019 cm- 3),使得它比Zn1-xCdxO 薄膜更具应用价值。