主光轴平行于基底的微透镜阵列设计与制作
DOI:
CSTR:
作者:
作者单位:

作者简介:

杨潞霞 (1979-),女,山西阳城人,博士研究生, 讲师,研究方向为微制造技术、微纳技术与仪器、微流控芯片和微光学器件的制作与测试.

通讯作者:

中图分类号:

基金项目:

国家自然科学基金(61176115)和山西大学商务学院科研(2013006)资助项目 (1.中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,电子测试技术教育部重点实验室,山西 太原 030051;2.山西大学商务学院 信息学院,山西 太原 030031)


Design and fabrication of microlens array with primary optical axis parallel to the substrate
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光 刻工艺实现了一种主光轴平行于基底的微透镜阵列。首先对微透镜形成过程中的PDMS 薄膜受力和 变形情况进行了分析,并采用有限元分析方法对不同压力、不同厚度的薄膜变形情况进行了 模拟,确定了 合理的微透镜腔体结构;然后利用SU-8负模制作了PDMS微透镜腔体,将腔体与盖片进行了 密闭封装, 通过一定的压力向其注入紫外固化光学胶成型了微透镜阵列;最后使用自制装置对微透镜阵 列的聚焦效果 进行了测试。结果表明,提出的制作方法简单易行、成本低廉和焦距可控,而且易与其它 的微系统集成到同一芯片。

    Abstract:

    A microlens array with optical axis pa rallel to the substrate has been designed and implemented using polydimethylsiloxane (PDMS) soft lithography proc ess.At first,the deformation and the force-bearing of the thin PDMS membranes in microlens forming process a re analyzed.The finite element method is carried out to investigate the deformation of thin membranes with di fferent thicknesses and different pressures,and the reasonable microlens chamber structure is established.Then a microlens chamber is fabricated on an SU-8negative mold,and the chamber is sealed to a cover plate by using bonding technique.The curable polymers are injected into the lens chamber and cured while pressure is applied to keep the PDMS membranes deformed and generate a microlens array.Finally,the focusing effect of the microlens is tested by a homemade device.Results show that this method is simple,economically feasible,with controllable focal le ngth,and makes it particularly easy for integration with other micro systems,which may open up new possibilities for med ical detections and communications.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

杨潞霞,毛静,王春水,张斌珍,王万军.主光轴平行于基底的微透镜阵列设计与制作[J].光电子激光,2014,(5):864~869

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:2013-11-29
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期:
文章二维码