摘要:仿真和 实验研究了 含 槽型(slot ) 光波导 的反馈波导型微环谐振器的特性 ,将槽型 光波导 集成到 Si基微环谐振器中,丰富Si基光波导的功能,为新型光电子器件的实现提供途径 。 通过锥形波导 结构 实现 从传统波导到 槽型 波导的模式转换, 减小传输损耗, 采用时域 有限差分法(FDTD ) 研究 了 光功率的分布和 模式转换 过程。 结果显示, 光功率逐渐转移到 锥形结构两 侧的 槽型 波导 中并最终形成槽型 波导 中的传输模 式 , 通过优化锥形结构 能 实现较高的模式转换效率 , 可以达到 90% 以上 。 采用电子束刻写技术和等离子刻 蚀技术制备了反馈波导型槽型微环谐振器。 实验显示,锥形波导能够实现模式的转换,光传输过程 良 好 。通过 在 槽型 波导 中填充电光聚合物 来 改变槽型 光波导 的折射率,测量结果显示, 传输谱谐振峰发生 了 明显移动, 移动幅度达到 5.6 nm, 器件具备很好的可调谐性。