基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感器
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作者:
作者单位:

(1.中国科学院 上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室 上海 200050; 2.中国科学院大学 微系统与信息技术学院,上海 200050)

作者简介:

王小伟(1987-),男,湖北孝安陆人,博士研究生,主要从 事光学MEMS器件设计与工艺制作的研究.

通讯作者:

中图分类号:

基金项目:

国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ2500021401)资助项目 (1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室上海 200050; 2.中国科学院大学微系统与信息技术学院,上海 200050)


MEMS-based horizontal axis optic fiber acceleration sensor
Author:
Affiliation:

(1.State Key Laboratory of Transducer Technology,Shanghai Institute of Microsys tem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200050,China; 2.School of Microsystem and Information Technology,University of Chinese Acade my of Sciences, Shanghai 200050,China)

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    摘要:

    提出了 一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器,并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上 制造,形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参 数与其性能的 关系,利用MEMS技术成功制作出了加速度传感器样品。初步测试结果表明,本光纤加速度传 感器灵敏度为164mV/g,3dB带宽的截止频率为1600Hz。

    Abstract:

    Fiber optic acceleration sensors are important acceleration sensors,w hich are widely used in the national economy and national defense industries.In this paper,we present a micro-electro-mechanical system (MEMS)-based horizontal axis fiber-optic acceleration sensor,which can be integrated with t he Z-axis optical fiber acceleration senor to form a monolithic three-axis optical acceleration senor w hose optical fiber outlets are in the same direction.The sensing theory has been proposed and the MEMS acc eleration sensor chip has been fabricated and packaged successfully.The preliminary test results show that the sensitivity of MEMS-based fiber-optic acceleration sensor is 164mV/g,and the 3dB bandwid th is 1600Hz.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

王小伟,钟少龙,徐静,吴亚明.基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感器[J].光电子激光,2015,26(3):414~421

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  • 收稿日期:2014-11-11
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  • 在线发布日期: 2015-04-26
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