(1.中国科学院 上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室 上海 200050; 2.中国科学院大学 微系统与信息技术学院,上海 200050)
王小伟(1987-),男,湖北孝安陆人,博士研究生,主要从 事光学MEMS器件设计与工艺制作的研究.
国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ2500021401)资助项目 (1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室上海 200050; 2.中国科学院大学微系统与信息技术学院,上海 200050)
(1.State Key Laboratory of Transducer Technology,Shanghai Institute of Microsys tem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200050,China; 2.School of Microsystem and Information Technology,University of Chinese Acade my of Sciences, Shanghai 200050,China)
王小伟,钟少龙,徐静,吴亚明.基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感器[J].光电子激光,2015,26(3):414~421
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