n-ZnO/p-GaAs异质结光电探测器光电特性研究
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作者:
作者单位:

(1.鲁东大学 物理与光电工程学院,山东 烟台 264025; 2.光驰科技(上海)有限公司 薄 膜开发部,上海 200444)

作者简介:

赵风周(1976-),男,理学博士,副教授,主要从事宽禁带半 导体发光材料及器件的研究.

通讯作者:

中图分类号:

基金项目:

山东省自然科学基金(ZR2014AM027)、山东省高等学校科技计划(J14LJ04)和鲁东大学科 研基金(LY2014006)资助项目 (1.鲁东大学 物理与光电工程学院,山东 烟台 264025; 2.光驰科技(上海)有限公司 薄膜开发部,上海 200444)


Fabrication and the photoelectric properties of n-ZnO/p-GaAs thin-film heterojunction photodetectors
Author:
Affiliation:

(1.School of Physics and Optoelectronic Engineering,Ludong University,Yantai 264025,China; 2.Coating Research and Development Center,OPTORUN(Shanghai)Co.,L td.,Shanghai 200444,China)

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    摘要:

    利用脉冲激光沉积(PLD)技术在p-GaAs外延片 上生长了n型ZnO薄膜,制备了n-ZnO薄膜/p-GaAs 异质结光电探测器原型器件。X射线衍射(XRD)及扫描电子显微镜(SEM)测试结果表明, 生长在GaAs表面上的ZnO薄膜具有较高的结晶质量。在反向偏压下,器件表现出良好的近红 外探测性能,工作电压在-0.5V到-4.0V时,光谱响应 度峰值在850nm附近;当反向电压为-2.0V 时,光响应度达到饱和 ,响应度峰值达到10.17A/W。而比探测 率峰值则在-2.0V达到最大值2.06×1010 cm Hz1/2/W, 之后下降。反向工作电压下的光谱响应度和比探测率曲线表明, 器件对850nm附近的近红外光具有较强的选择性(FWHM 约为30nm)。

    Abstract:

    High-quality n-ZnO thin films were deposited on the surface of p-GaA s epitaxial wafer by pulse laser deposition technology to construct the n-ZnO/p-GaAs heterojunction photodetect ors.X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscope (SEM) results show that the ZnO thin films with high crystalline quality on GaAs are obtain ed.Under reverse bias,the detectors exhibit good near-infrared detection performance.With the bias cha nging from -0.5V to -4V,the spectral response curves indicate that all the responsivity peaks appear near 850nm.And when the reverse bias is -2V,the responsivity near 850nm reaches the saturation value of 10.17A/W.However,the specific detectivity reaches peak value of 2.06×1010 cm Hz1/2/W,and then dec reases with the reverse bias increasing.The spectral response curves and the specific detectivity curves under reverse bias exhibit strong selectivity for the near-infrared light in the vicinity of 850nm (with FWHM of 30nm).

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

张敏,张立春,董方营,李清山,张忠俊,赵风周. n-ZnO/p-GaAs异质结光电探测器光电特性研究[J].光电子激光,2015,26(7):1278~1283

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  • 收稿日期:2015-02-28
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  • 在线发布日期: 2015-08-10
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