可调谐氮化硅波导微环谐振腔滤波器研究
DOI:
CSTR:
作者:
作者单位:

(1.东南大学 先进光子学中心,江苏 南京 210096; 2.河海大学 水利 水电学院,江苏 南京 210098)

作者简介:

崔一平(1957-),男,江苏海安人,博士,教 授,博士生导师,主要从事纳米光电功能材料器件与应用光通信与光集成传感技术等研究 .

通讯作者:

中图分类号:

基金项目:


Research on tunable microring resonator filter based on Si3N4
Author:
Affiliation:

(1.Advanced Photonics Center,Southeast University,Nanjing 210096,China; 2.Colleg e of Water Conservancy and Hydropower Engineering,Hohai University,Nanjing 210098,China)

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    设计并制备了一种基于热光效应的集成可调谐氮化 硅(Si3N4)波导微环谐振腔滤波器,通过采用马赫-曾德干涉仪(MZI)构成的可调谐 耦合器控制耦合区耦合比,以实现滤波器消光比的调谐。设计并优化了微环谐振 腔的波导截面尺寸、弯曲半径和耦合区波导间隔等参数,并通过光刻、反应离子刻蚀(RIE )等工艺制备 了两种不同弯曲半径的Si3N4波导微环谐振腔。实验结果表明,本文器件在波长1550nm附近处的自由光谱 范围(FSR)为68pm,3dB带宽约为16pm,品质因子Q达到了9.68×10 4,消光比可调范围约为17dB。

    Abstract:

    An i ntegrated silicon nitride waveguide microring resonator based on thermo-optical effect is designed and fabricated.The device adopts the tunable coupler constituted by th e Mach-Zehnder interferometer(MZI) which controls the coupling ratio to tune the extinction ratio.Besides,the size of waveguide,bend radius,the gap size in the coupling region and other parameters a re designed and optimized.Two silicon nirtride waveguide microring resonators with different ben d radii are fabricated by the lithography,reactive ion etching(RIE)and other micro fabrication processe s.The experimental results show that around the wavelength of 1550nm,the free s pectral range,3dB bandwidth,Q factor, tunable range of the extinction ratio are 68pm,16pm,9.68×104,and 17dB,resp ectively.The research of this tunable microring resonator filter is very promising for the optical communicati on and the microwave photonic filtering.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

丁森,恽斌峰,徐素红,胡国华,崔一平.可调谐氮化硅波导微环谐振腔滤波器研究[J].光电子激光,2015,26(8):1486~1491

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:2015-05-19
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期: 2015-09-22
  • 出版日期:
文章二维码