(浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室,浙江 杭州 310027)
章海军(1965-),男,浙江新昌人,教授,博士生导师,主 要从事光学工程、微纳米驱动技术及原子力显微镜技术方面的研究.
国家自然科学基金(51077117,61540019)资助项目 (浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室,浙江 杭州 310027)
(State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation,Zhejiang University,Ha ngzhou 310027,China)
尤清扬,王英达,秦春,章海军.光热微驱动机构动态响应特性的理论与实验研究[J].光电子激光,2017,28(5):470~475
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