柔性金属膜封装器件的水汽阻隔性能研究
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作者:
作者单位:

(福州大学 物理与信息工程学院,福建 福州 350002)

作者简介:

周雄图(1982-),男,福建晋江,副教授,硕 士生导师,主要从事光电功能材料与器件、印刷电子与柔性显示等方面研究工作.

通讯作者:

中图分类号:

基金项目:

国家自然科学基金(61474204)和福建省自然科学基金(2017J01758)资助项目 (福州大学 物理与信息工程学院,福建 福州 350002)


Investigation of water-air barrier performance of device with flexible metal film encapsulation
Author:
Affiliation:

(School of Physics and Information Engineering,Fuzhou University,Fuzhou 350002,C hina)

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    摘要:

    通过UV树脂和柔性金属薄膜将干燥片和透气绝缘的聚二甲基硅氧烷(PDMS)膜封装在器件中, 利用钙(Ca)膜电学测试方法测定封装结构的水汽透过率 (WVTR),研究了该封装方法的水汽阻隔性能。实验结果表明, Ca膜蒸镀时的温度调控极大影响Ca膜均 匀性和表面形貌,从而影响器件的水汽透过率检测结果。本文提出的柔性金属封装方法具有 良好的水汽阻 隔性能,其WVTR在封装90h后仍达到5×10-4 g/m2/day 以下,水汽主要从器件周围的UV树脂渗透,与传统薄膜封装的水汽渗透机制有很大不同。

    Abstract:

    A novel encapsulation method is developed,in which the getter and the breathable insulating polydimethylsiloxane (PDMS) film are encapsulated in the device using flexibl e metal film and UV resin.The water vapor transmission rate (WVTR) of encapsulated structures is m easured by the method of calcium electrical test,and the water and oxygen barrie r performance of this method is studied.The experimental results show that the d eposition temperature of Ca film greatly affects the uniformity and surface morp hology of Ca film,thus affecting the testing results of WVTR.The flexible metal encapsulation method proposed in this paper has good water and oxygen barrier properties,and its WVTR is less than 5×10 -4 g/m2/day after 90h of encapsulation.The water vapor was found to mainly penetrate from the UV resin around the device,which is very different from the water vapor permeation mechanism of the traditional thin fil m encapsulation.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

彭荣,翁雅恋,周雄图,唐谦,李福山,胡海龙,郭太良,张永爱.柔性金属膜封装器件的水汽阻隔性能研究[J].光电子激光,2018,29(2):118~122

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  • 收稿日期:2017-06-09
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  • 在线发布日期: 2018-03-15
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