基于石墨烯-硅波导的微环光电探测器
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作者:
作者单位:

(1.宁波大学 信息科学与工程学院,浙江 宁波 315211; 2.温州大学 电气与电子工程学 院,浙江 温州 325035)

作者简介:

陈伟伟(1986-)女,副教授,博士生导师,主 要研究方向为集成光电子器件及其系统层面应用.

通讯作者:

中图分类号:

基金项目:

国家自然科学基金(61875098,8)、集成光电子学国家重点联合 实验室开放课题(IOSKL2015KF03)资助和宁波市自然科学基金(2018A610133)资助项目 (1.宁波大学 信息科学与工程学院,浙江 宁波 315211; 2.温州大学 电气与电子工程学 院,浙江 温州 325035)


A graphene-on-silicon waveguide photodetector using an all-pass microring
Author:
Affiliation:

(1.Faculty of Information Science and Engineering,Ningbo University,Ningbo,Z hejiang 315211,China; 2.College of Electrical and Electronic Engineering,Wenz hou University,Wenzhou,Zhejiang 325035,China)

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    摘要:

    本文提出了一种基于石墨烯-硅波导的微环光电 探测器。该器件采用全通型微环谐振 器作为基本单元,通过优化基于石墨烯-硅波导微环谐振器的结构参数,以满足临界耦合状 态需求,用于增强石墨烯与光的相互作用,并利用电子束光刻、等离子体刻蚀、石墨烯转移 以及电子束蒸发等工艺制备基于石墨烯-硅波导的微环光电探测器。实验结果表明,当在偏 置电压为-0.1 V时,探测器的最佳响应度Rp=12.5 μA/W。

    Abstract:

    In this paper,a graphene-on-silicon waveguide photodetector using a n all-pass microring is proposed.Structural parameters for the graphene-silicon m icroring resonator are optimized to satisfy the critical coupling condition and enhance the interaction of graphene and light.The designed graphene-on-silico n waveguide photodetectors are experimentally demonstrated by using a series of pr ocesses such as electron-beam lithography,inductively coupled plasma etching, g raphene transfer,and electron beam evaporation.Experimental results show that the the best responsivity of the fabricated photodetector is 12.5μA/W when the bias voltage is -0.1V.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

梁伟,李仕琪,汪鹏君,李燕,陈伟伟.基于石墨烯-硅波导的微环光电探测器[J].光电子激光,2020,31(3):243~247

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  • 收稿日期:2019-08-26
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  • 在线发布日期: 2020-05-29
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