氧化钨薄膜对发光二极管特性的影响研究
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作者:
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(华灿光电(苏州)有限公司,江苏 苏州 215600)

作者简介:

肖和平(1984-),男,硕士,主要从事LED芯片工艺、半导 体材料特性等方面的研究.

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Research on the influence of WO3film on the characteristics of light-emitting diodes
Author:
Affiliation:

(HC SemiTek Corporation Co.Ltd,Jiangsu Soochow 215600,China)

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    摘要:

    氧化钨薄膜具有适中的光学带隙、折射率及高功 函数等半导体特性,本文采用溅射法(Sputtering)制备氧化钨薄膜测试其光电特性,使用AFM、XRD观察薄膜外观结构与晶体状 态,应用XPS、UPS表征薄膜的化学计量组分及薄膜功函数,并将此薄膜应用于AlGaInP发光 二极管器件中,以增加与p-GaP欧姆接触特性,增加载流子注入效率;测试结果表明:采用 合适厚度的氧化钨虚设层与ITO形成的复合膜层可有效增加电子注入效率,使AlGaInP发光二 极管的出光强度提高4%,同时正向电压降低0.01 V。

    Abstract:

    The WO3film has moderate optical band gap,refractive index and high work function and other semiconductor characteristics.In this paper,sputtering is used to prepare the WO3film to test its optical and electrical properties , and the appearance structure and crystal state of the film are observed using AF M and XRD.XPS and UPS characterize the stoichiometric composition and work funct ion of the film,and apply WO3film to AlGaInP light-emitting diode devices to i ncrease the ohmic contact characteristics with p-GaP and increase the carrier i n jection efficiency;the test results show that:The composite film formed by the thick WO3film dummy layer and ITO can effectively increase the electron inje ct ion efficiency,increase the light intensity of the AlGaInP light-emitting diod e by 4%,and reduce the forward voltage by 0.01V.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

肖和平,朱志佳.氧化钨薄膜对发光二极管特性的影响研究[J].光电子激光,2021,32(4):344~348

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  • 收稿日期:2020-11-08
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  • 在线发布日期: 2021-04-22
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